半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
光电器件中高档首测配套方案涉重生活污水——MVR立即嵌套循环零排工程项目
大型项目的背景
半导体材料设备高级首测大型创业项目,大规模150立方米/天,是率先半导体材料设备首测设备配套涉重废液零排大型创业项目。首测节点的镀镍、镀铜、引线眼镜框架擦洗会生产含镍含铜废液,工业园区的标准"无尾水外排",产水所有 工业废水处理于产线。
地表水显著特点与关键点
废渣以含镍主导(质量浓度10–100毫克/升),伴少量出铜、锌,pH动荡大(2–12),还是有光刻胶留的少量出生产物。首测厂现场紧,耍求加工场地设施土地征用小;零排暗示着着浓水没有运输不要,都要本市汽化成果闭环控制。
加工新工艺行车路线
总体走"分质回收 → 预工作除杂 → 化学上积累除镍 → 过虑 → UF+二级RO → MVR强制性循坏蒸馏 → 空调蒸发器水工业废水处理":
含镍线先调pH到10–11,添加氢空气被氧化钠转化Ni(OH)₂结晶,另加加硫钠深浅收集残留镍(加硫镍Ksp比氢空气被氧化镍更小,如何把镍压到0.1毫克/升之下);
沉垫有水出经多媒质活性炭滤出+保安人员活性炭滤出后进UF,再进特一级RO,产水随便回产线擦拭;
RO浓水(含盐+残存巨资属)进MVR强迫配置真空泵器,强迫配置能扛高含盐积灰,真空泵器自己准备上线洗掉,很难堵;
MVR蒸汽加热水赶回工业废水处理水槽,蒸发掉残液委外焚烧处理或充当垃圾应对,另一生产车间无液太外排。
关键的装置好处介绍
MVR强制性不断循环系统相对于普通的降膜化掉掉,不断循环系统流体密度高、热传导面不方便结镍盐/碳酸盐垢,适首测种"储水量不高但水体杂"的应用场景;一起化撬装设计构思征地赔偿比经典化掉掉塘+多效化掉掉设计小60%及以上;臭味侧配建生物技术滤池,把调理池和污水间的臭味采集后溶解成CO₂和水,制止首测厂紧临办公室区的腥臭味投诉信。
操作特效与效率
水流镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远高于《电镀工艺废弃物物减排细则》表三;另一个150立米米/天产水循环于测封产线洗掉,方式等量新鲜毛肚水;危险废物(蒸发器残液+厌氧颗粒污泥)量比过去的"沉定+减排"格局减约70%。对富士康侧,测封大型项目绿色监管卡点刻上通;