昆山某半导体芯片工厂低浓值含砷废渣治理建设项目(阳离子更换深层除砷加工制作工艺 )
一、项目流程背景图片
杭州某半导体器件的品牌潜心砷化镓晶片激光切、蚀刻与考虑加工的时候,研发的时候中引起低有机废气浓度含砷冲刷电镀废水,日办理量 120m³(5m³/h)。自来水饮用水:总砷 0.4-0.6mg/L(最低值 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、悬浮按钮物 50-80mg/L、含轻微氟阴阳离子与磷酸。该行业排出条件(GB 39731-2020)总砷卫生防护距离 0.5mg/L,的品牌内控条件≤0.01mg/L,民俗化学石雕文化沉淀法冒水起伏大、仍未动态平衡不合格,且污水总产量高,需规划设计高精准度、低污水的办理工学艺。
二、制作工艺进行与结构设计
经小试对比分析耐腐蚀沉积、降解、阳正离子相互交流等技术,结果英文主要采用厂家过滤程序 + 亲水性炭降解 + Tulsimer A-62MP 特类阳正离子相互交流硅胶粘合剂组合起来技术,关键优越性为净化处理精密高、运营安全、厌氧颗粒污泥量非常少、会自动化系统程高。
机戒滤过第一单元:主要采用石英石砂滤过器,快速清理废池里飘浮物、胶体溶液粒子及这部分大氧分子设计物,漏液压力值 0.2-0.3MPa,滤过流动速度 8m/h,挪用粒度≥20μm,预防沉渣堵塞了后期聚酯光敏树脂,缩减聚酯光敏树脂污染破坏传输速度。
抗逆性炭吸咐机组:应用柱形椰壳抗逆性炭(碘值≥1000mg/g),吸咐水底少量有机化学物、余氯及一部分砷的络合特性,进一次性几丁质酶炭过滤水体质量,保护好铝离子交流树脂材料,吸咐碰触时候 30min,抗逆性炭注射量 1.2m³,每 3 三个月机体再生一次性。
阳亚铁离子对换单园:关键为 Tulsimer A-62MP 大孔强酸强碱性阴阳亚铁离子对换环氧光敏环氧硅橡胶,该环氧光敏环氧硅橡胶对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)极具高进行性活性炭吸附作用,中受日常阴阳亚铁离子(Cl⁻、SO₄²⁻)干挠。环氧光敏环氧硅橡胶补充量 2.5m³,对换柱厚度 1.2m、较高 2.4m,水能力滞留时段 15min,作业气速 5m/h;环氧光敏环氧硅橡胶趋于稳定后用 4% NaOH 饱和溶液净化,净化液用药量为环氧光敏环氧硅橡胶体型大小的 2 倍,净化时段 4h,净化后用纯净水清扫冲洗至中性化,循环系统操作,净化期限约 7 天。
三、简略运动方法
废液持续:分娩含砷废液经管道汇往调高池,均质均量,调高池很好的面积 50m³,留在时期 10h,池内快速设置爆气混和器,防范悬停物乳浊液,稳定性高接触不良环境质量蓄水量。
机械厂吸收:的调节池废气经泵升高至石英砂砂吸收器,除掉浮窗物后,喷水浮窗物≤5mg/L,水自渗入可溶性炭吸收罐。
灵化学活化炭纤维吸咐:废水处理工艺与灵化学活化炭纤维充分的接触的面积,清除设计物与不溶物后,水流开启阴阳离子交流柱,开始长度除砷。
阳正离子对换除砷:焦化废水由上而下交界树酯层,砷酸根、亚砷酸根与树酯上 Cl⁻突发对换不良反应,砷阳正离子被树酯树脂吸附,有水出总砷≤0.01mg/L,符合标准后中水回用至生孩子程序或尾气排放。
环氧聚酯聚酯硅橡胶回收:当出水出水砷氨水浓度>0.008mg/L 时,开启回收小程序:先反洗(绿水自下而上冲干净环氧聚酯聚酯硅橡胶层,我们要除接触面沉淀物,反洗流动速度 10m/h,事件 15min)→回收(4% NaOH 悬浊液至上而下最长的河流环氧聚酯聚酯硅橡胶层,洗刷吸附物的砷阴阳离子,回收流动速度 2m/h)→正洗(绿水至上而下冲干净环氧聚酯聚酯硅橡胶,我们要除残余的回收液,正洗流动速度 5m/h,事件 30min)→自备,回收废渣持续后网络化工作,解决2次水污染。
四、运作疗效与数据讲解讲解
的项目多次开机运行 12 八个月,哪项因素平衡符合标准,核心思想的数据正确:
水进总砷:0.4-0.6mg/L(人均 0.5mg/L);
出水量总砷:0.003-0.008mg/L(大概 0.005mg/L),除掉率≥99%;
出液 pH:6.8-7.2,契合工业废水处理标准规范;
环氧树脂机体回收利用频次:7±1 天,机体回收利用液砷酸度约 15-20mg/L,机体回收利用电镀废水经化学式乳浊液净化处理后合格的排放;
活性废水产销量:仅为民俗化学滤渣法的 5%,幅度极大减少活性废水妥善处理制造费。
五、成本价与效果浅析
加盟料工费:总加盟 180 亿元,当中专用设备费 120 亿元(脱水罐、降解罐、化合物互换柱、泵、测控平台等)、进行安装费 30 亿元、程序调试极其他的费用 30 亿元。
加载成本价:约 2.8 元 /m³,还有硅橡胶消耗(0.5 元 /m³,硅橡胶用到质保期 3-5 年)、药品费(0.8 元 /m³,NaOH、稀盐酸等)、商业用电(0.6 元 /m³)、人工处理及系统维护费(0.9 元 /m³)。
前景:有水出安全充分考虑内控的标准,预防干净超标准投资项目风险;净化处理后废渣回笼利用率达 80%,年节约用电饮水资金约 40 万美金;飞灰干化减轻药量 95%,年缩减飞灰干化防范资金约 25 万美金,综上年净受益约 60 万美金,投资项目回笼期 3 年。
六、情况总结范文
本产品应对半导体行业中浓硫酸溶液浓度低值含砷焦化废气 “浓硫酸溶液浓度低值、高可靠性强,精密度需要、水情况很复杂” 特性,选择阴离子交互组合起来制作方法,成功创业解决方法以往制作方法出液变化、淤泥量大的客户的痛点。制作方法智能化阶段高,实操简单,运动动态平衡,除砷疗效不错,出液总砷动态平衡≤0.01mg/L,同一保持焦化废气循环与淤泥回收利用,兼备情况竞争力与经济实惠竞争力,为自动化行业中浓硫酸溶液浓度低值含砷焦化废气深度.补救给出可抄袭的高技术实施方案。