某半导体行业研发客户因晶圆拆洗多种工序会产生含氨污水，用水量200吨/天。污水底除高锰酸盐指数外还所含氟化物和少量血本属，解决一定的难度大。位置进行排放基准特殊要求高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 焦化废水材质及从何而来 晶圆擦洗生活污水（基本来原）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀程序生产废水：含少量铜、镍等血本属，pH值变化大 CMP磨研废液：含硅小粒及氟化物 加工处理施工工艺工作流程 利用"化工沉垫+膜转移+折点氯化"组合成方法： 预正确处理 ：加药CaCl2除氟，控住pH在7.5-8. 超滤膜系统的 ：消除0.01μm左右顆粒物 反进行渗透沉淀 ：将氟化物提液至1000mg/L之内 折点氯化 ：小于掌控氯加药量，将挥发酚转成为惰性气体 阳离子互转 ：基本保障巨资属达到标准 终极功效 氟化物固定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 巨资属含量的降到的检测限 水循环率达75% 飞灰出现量降低40%