该厂为8屏幕尺寸晶圆生孩子线一体化的超软水控制系统，每周出现含硅废水加工处理方法150吨。废水加工处理方法中虽无高价属，但硅含磷量高易积灰，且热敏电阻率需可达到18MΩ·cm才可使用。原本有加工处理工学院艺时未充分满足新施行的《智能鑫霖环保水被大气污染物排放量物规定》（GB39731-2020）非常排放量物最大限度。 污水基本成分特别 首要严重污染物质 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、粉末硅（粒度0.1-1μm） 特定追求 ：TOC<10μg/L，硼含量<5μg/L 水体性 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅有机物形态特征复杂化 办理工艺程序程序 改革创新按照"梯级膜分离法+电去亚铁离子"女子组合工艺设计： 微滤预解决 ：1μm陶瓷图片膜过滤大粉末硅，通量维系80LMH 阴阳离子交互光敏树脂 ：D201大孔环氧树脂选购性活性炭吸附硅酸原子 一级RO操作系统 ：第一个段收购 率60%，二段采用了高脱硼膜零件 EDI电去阴阳离子 ：直流电压体积2A/m²，定期出掉残留亚铁离子 紫外光臭氧消毒 ：254nm紫外光线用量40mJ/cm² 技艺优点 的开发专业级阻硅剂（有机酸胺类黏结物），推迟膜废弃物过渡期3倍 EDI传感器创新技术流道制定，硅消除率增强至99.8% 网上硅解析仪（測量使用范围0.1-500μg/L）确保精准度管理 进行初步成效 经第三个方在线检测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L低于0.3μg/L 操作系统收售率从原40%升级至68% 膜换新周期长延时至5年，年自动运行成本价缩减35%